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中央超純水供應系統(tǒng)一般可分為三個部分

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   中央超純水供應系統(tǒng)采用集中制備,分質(zhì)供水。所謂中央集中制水、分質(zhì)供水,就是用一套水處理系統(tǒng)對自來水進行深度處理,使其達到各科室可直接使用的水質(zhì)標準,再分別用管網(wǎng)供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設計;任一套故障或檢修時,另一套能確保正常制水;控制系統(tǒng)為自動和手動各一套,正常運作時為全自動控制,可無人值守運走,自動控制故障時,手動控制可保證設備運作,確保正常供水。
  
  系統(tǒng)特點說明:
  1、顯示控制器、動畫式流程圖,實時顯示并監(jiān)控各水處理單元工藝運行狀態(tài);
  2、運行狀態(tài)及參數(shù)在線顯示:流量在線顯示、壓力在線顯示、源水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)在線監(jiān)測及數(shù)字顯示等,實時了解設備運行情況,方便對系統(tǒng)運行狀態(tài)進行監(jiān)控和分析;
  3、所有水箱液位全自動控制:中間水箱、純水箱、水箱之間的設備連接不僅實現(xiàn)聯(lián)動,同時保護每臺泵不至空轉而損壞;
  4、產(chǎn)品水質(zhì)在線監(jiān)測與不合格水循環(huán)處理:為保證用水點水質(zhì)符合要求,主機產(chǎn)水水質(zhì)實時在線監(jiān)測,并設有水質(zhì)反饋裝置,不合格水質(zhì)循環(huán)再處理;
  5、具備自動沖洗管網(wǎng)功能,定期對管路進行清洗,以保持管道內(nèi)部潔凈,管路沖洗時,可直接排放,也可回流到制水設備主機重新利用,以節(jié)約水源;
  
  中央超純水供應系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分:
  超純水制造區(qū)(CUB部分);
  超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分);
  超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。
  其中超純水制造區(qū)最為復雜其又可分為:預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。
  預處理部分主要包括:沙濾、活性炭塔(有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池);
  一次純水部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;
  超純水部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。
  但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中,輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB內(nèi)一般都設立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心,再加上超濾設備(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中,管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

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